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科勒照明展示

將白色觀察屏CVS-75W放置于IMK-3T的工作距離范圍內(nèi)，成像光斑如圖所示：

選取中心區(qū)域，可得到照明均勻度分析結(jié)果：

注：

1. $min/max$$min/max$：極值比，值越接近 100%，說明最小光強與最大光強差異越小，均勻性越好。

   $$\text{極}\text{值}\text{比}=\frac{\text{最}\text{小}\text{值}}{\text{最}\text{大}\text{值}}\times 100\mathrm{\%}$$

2. $std/mean$$std/mean$：標(biāo)準(zhǔn)差均值比，值越接近 100%，說明數(shù)據(jù)波動越小，均勻性越理想。

   $$\frac{std}{mean}=(1?\frac{\text{標(biāo)}\text{準(zhǔn)}\text{差}}{\text{均}\text{值}})\times 100\mathrm{\%}$$

3. $RIU$$RIU$：相對不均勻度，國際照明委員會（CIE）推薦的均勻性指標(biāo)，值越接近 100%，表明光強分布越均勻。

   $$RIU=1?\frac{\text{最}\text{大}\text{值}?\text{最}\text{小}\text{值}}{\text{最}\text{大}\text{值}+\text{最}\text{小}\text{值}}\times 100\mathrm{\%}$$

臨界照明與科勒照明對比

臨界照明會將光源像成像至樣品上，導(dǎo)致照明不均勻，如圖1所示。

圖1 臨界照明效果

科勒照明通過將樣品像與光源像錯開，在樣品面得到均勻的照明效果，如圖2所示。

圖2 科勒照明效果